クリーンルーム
・キヤノン BESTEM-D10Sp 4台 | ・ASM AD8930 1台 |
・ASM AD830 3台 | ・ASM AD830plus 1台 |
・小坂 KE202 2台 | ・小坂 KE522 1台 |
・新川 UTC-5100 3台 | ・KAIJO FB-180 1台 |
・KAIJO FB-880 2台 | ・KAIJO FB-170 1台 |
・Panasonic HW27U-H 2台 | ・Panasonic HW26U-B 1台 |
・Yamato DNE400 13台 | ・Yamato DV600 1台 |
・ESPEC LC-114 2台 | ・SATAKE SDC26 1台 |
・ワイエイシイガーター NCS-4101Ⅲ 1台 | ・澁谷工業 EH162FB 1台 |
・ワイエイシイガーター NCT-5000 1台 |
・特殊仕様品 5台 |